Главная»Вопросы»Какие линии определяются на поверхности полупроводника в процессе фотолитографии?
Какие линии определяются на поверхности полупроводника в процессе фотолитографии?
Ответы
Исидора Малофеева
В процессе фотолитографии на поверхности полупроводника определяются линии, задающие конфигурацию будущих электронных компонентов. Эти линии формируются путем заливки светочувствительного слоя (фоторезиста) через маску с изображением желаемой структуры. Затем происходит экспонирование фоторезиста светом и последующая обработка раствором для удаления выбранных участков фоторезиста.
В процессе фотолитографии на поверхности полупроводника определяются линии, задающие конфигурацию будущих электронных компонентов. Эти линии формируются путем заливки светочувствительного слоя (фоторезиста) через маску с изображением желаемой структуры. Затем происходит экспонирование фоторезиста светом и последующая обработка раствором для удаления выбранных участков фоторезиста.